催化燃燒廢氣處理工藝流程包括以下步驟：

1. 廢氣預處理：為了防止催化劑床層堵塞和中毒，廢氣在進入床層之前必須進行預處理，以除去廢氣中的粉塵、液滴和催化劑毒物。
2. 預熱裝置：為了使廢氣和床層溫度達到催化劑的起燃溫度，必須設置預熱裝置。預熱器的熱源可采用煙道氣或電加熱。
3. 廢氣催化燃燒：廢氣經(jīng)過預熱后進入催化劑床層，進行催化燃燒反應。
4. 廢熱回收：在反應熱較大的場合，應設置廢熱回收裝置，以節(jié)約能源。
5. 催化劑的選用和配制：根據(jù)廢氣的組成和特性，選擇合適的催化劑是保證催化燃燒工藝順利進行的前提。催化劑的選擇和配制需要參考催化劑的類型、數(shù)量、制備方式和重新處理等方面。
6. 廢氣預處理工藝：包括吸附、凈化、除塵等，旨在去除廢氣中的顆粒物和有機物等污染物質(zhì)，以保證催化反應的進行。